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Leitz Reference Xi – “Xi” 代表著系統(tǒng)具備充分的“靈活性”。 將Leitz高性能的掃描技術(shù)應(yīng)用于新型Leitz Reference Xi，提供了豐富的測量選擇：從連接自動(dòng)旋轉(zhuǎn)測座的HP-S-X1掃描探測系統(tǒng)，到配備固定式掃描探測系統(tǒng)HP-S-X3C 一直到HP-S-X5 HD，能夠在配備加長探針的情況下保持高精度。 在各種配置下提供一如既往的高精度 - 無論是分度還是固定式探測系統(tǒng)。通過配備支持多測頭的控制器，Leitz Reference Xi系列測量機(jī)還能夠配備激光掃描測頭、接觸式粗糙度測頭，實(shí)現(xiàn)微觀尺寸評定。這些不同形式的測頭傳感器可以通過SENMATION多測頭平臺整合在一臺Reference Xi 上隨時(shí)取用，實(shí)現(xiàn)在各種環(huán)境下的高精度、全自動(dòng)、復(fù)合式靈活測量。
1. 整體占地面積小、高度低——適合安裝于狹小空間。
2. TRICISION技術(shù)——獨(dú)特三角形橫梁截面較傳統(tǒng)設(shè)計(jì)剛性提高25%，X向軌道重心降低50%，提高了尺寸測量穩(wěn)定性和精度。
3. 采用計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)技術(shù)，如有限元分析（FEA）和模塊分析——使整機(jī)結(jié)構(gòu)在偏移、震動(dòng)和運(yùn)動(dòng)過程中保持最佳。
4. 工作臺無側(cè)墻——方便工件裝載，可無限制接近工作區(qū)進(jìn)行測量。
5. 優(yōu)化彈性振動(dòng)系統(tǒng)，具備“可變剛性”——可隔絕周圍震動(dòng)。
6. 高性能伺服電機(jī)及同步帶驅(qū)動(dòng)——保證最大加速度和定位精度
7. 精密加工橢圓齒型鋼絲增強(qiáng)同步帶——減少在高速掃描情況下的震動(dòng)。
8. 完善的安全與碰撞保護(hù)——避免碰撞，減少維修成本。
9. 整合溫度傳感器——溫度變化時(shí)對誤差進(jìn)行補(bǔ)償
10. 配有遠(yuǎn)程診斷功能——使服務(wù)停機(jī)時(shí)間大大降低。
11. 采用高分辨率光柵系統(tǒng)—— 系統(tǒng)分辨率高達(dá)0.005um, 保證了機(jī)器精準(zhǔn)定位及高重復(fù)性
12. 可配備多測頭系統(tǒng)（傳統(tǒng)測頭、光學(xué)非接觸式測頭、接觸式粗糙度測頭）——滿足多種測量精度要求，實(shí)現(xiàn)其通用性。
13. 可作為齒輪檢測中心——最大直徑達(dá)1150mm。
14. XT選項(xiàng)——為15-30℃之間的測量提供高精度和可靠性。
| 型號 | 行程范圍（mm） | 外形尺寸（mm） |
| 5.4.3 | 500*400*300 | 1405*950*2087 |
| 7.7.5 | 700*700*500 | 1610*1250*2601 |
| 10.7.6 | 1000*700*580 | 1910*1250*2773 |
| 12.9.7 | 1200*900*690 | 2500*1560*3073 |
| 15.9.7 | 1500*900*690 | 2800*1560*3073 |
| 20.9.7 | 2000*900*690 | 3300*1560*3073 |
| 15.12.10 | 1500*1200*900 | 2900*1860*3422 |
| 22.12.10 | 2200*1200*900 | 3650*1860*3422 |
| 30.12.10 | 3000*1200*900 | 4450*1860*3512/3422 |
| 40.12.10 | 4000*1200*900 | 5450*1860*3662/3572 |
| 45.12.10 | 4500*1200*900 | 5950*1860*3662/3572 |
| 30.15.10 | 3000*1500*900 | 4450*2160*3662/3572 |
| 26.15.14 | 2600*1500*1210 | 3950*2160*4545/4455 |
| 33.15.14 | 3300*1500*1210 | 4650*2160*4545/4455 |
MPEE:自1.1起
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